超純水處理設備的運行確認是為證明該設備是否能達到設計要求及生產工藝要求而進的實際運行試驗，科瑞所有的水處理設備均進行開動，運行主要的工作如下。
(一)超純水處理設備系統操作參數的檢測
①檢查純化水處理各個設備的運行情況。逐個檢查所有的設備，如機械過濾器、活性炭過濾器、軟水器、RO主機、蒸餾水機運行是否正常，檢查電壓電流、大爐蒸汽、供水壓力。
②測定純化水設備的參數。各個超純水處理設備有不同的要求，如機械過濾器主要是去除懸浮物，活性炭過濾器主要去掉有機物和氯化物。軟水設備去掉Ca、My。通過化驗 分析每個設備進、出口處的水質來確定該設備的去除率、效率、產量，看是否達到設計要求。水質分析的指標應根據該純化水設備設備的性質和用途來定，可對照操作手冊上的參數來進行。如雙級后應測定其電阻率、流量、pH值、Cl-以及陽離子交換樹脂的牌號、數量、交換能力、再生周期、和每次再生用量。
③檢查管路情況，堵漏、更換有缺陷的閥門和密封圈。
④檢查水泵，保證水泵按規定方向運轉。
⑤檢查閥門和控制裝置工作是否正常。
⑥檢查貯水罐的加熱保溫情況，純化水可在60～70℃左右貯藏。
(二)超純水處理設備的純化水水質的預先測試分析
在正式開始純化水監測(驗證)之前，先對純化水水質進行測試，以便發現問題及時解決。測試項目主要是化學指標及微生物指標，測點可選擇在去離子器(或反滲透裝置、蒸餾水機)出口處。
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